○　特　長　○

◇　各種半導体装置・設備等の超高純度流体及び可燃性､毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。

◇　ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性､コンパクト､パーテイクルフリー､デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

◇　MEGAMINI LAの性能はそのままに､アクチェータ部の簡略化によりコンパクト化を図りました。

◇　優れた耐久性400万回以上。