○　特　長　○

◇　10-5～10-4Paの真空環境下で使用､AC/DC入力。

◇　放出ガスを抑えるため、モーターケースにはアルミ､ステンレス鋼を使用し､表面は塗装していません。また、軸受けには真空用グリースを使用しています。放出ガスは､通常のクリーンな環境に見られる成分と同じなので､真空環境を汚染する心配はありません。

◇　大気中にモーターを設置する場合､回転導入機などを使用するため装置が大型になります。真空タイプは､真空環境内にモーターを設置できるため装置を小型化できます。さらにαSTEP ARシリーズなら位置確認用のセンサが不要になるためコストダウンにも貢献します。
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◇　ベーキング処理の温度にも耐えられるように耐熱用の巻線を使用しています。