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No.01578 2024年01月29日更新
製品情報

制御・電気部品

ナガノ ランプ型面状加熱ヒーター HFC-OX

○ 特 長 ○

◇ C/Cコンポジット(炭素-炭素複合材)を使用したヒーターが石英ガラスに覆われている、酸素雰囲気で最高1000℃までの昇温が可能なフラットヒーターです。

◇ 薄膜装置(CVD/スパッタリングなど)半導体製造装置(基板加熱/フラッシュアニールなど)への組み込みその他多目的に使用できます。

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