○　特　長　○

◇　半導体製造プロセス向けに開発されたコンパクトチェンジャー。設備先端のツールやノズルを高精度で交換し、段取時間を短縮します。エアゼロ時でも連結状態を保持するメカニカルロック機能付き。

◇　可搬質量：1kg、 7kg　位置再現精度：5μm

◇　薬液ノズル交換や小さなツールなどの交換を自動化します。

◇　パーティクル回収のためのバキュームや低発塵グリスを採用し､半導体製造装置や､FA・ロボット自動化設備での使用に最適です。

◇　半導体製造プロセスに最適な本体材質：ステンレス高､アルミニウム

パキン類：フッ素ゴム､内部潤滑材：クリーン環境用低発塵グリス。