〇　特　長　〇

◇　位置センサを搭載しサーボバルブでシリンダヘッド側､ロッド側の流量をコントロールし位置を制御､速い応答性と位置決め精度：±0.5mmを実現。

◇　自己診断機能（LED点灯と信号出力）搭載。エア、電気停止時のピストン緊急作動停止。

◇　ユニット化による簡便なメンテナンス。